【カタログプレビュー】お客様事例 エキシマパルスレーザ成膜(PLD)は、太陽電池(ソーラー)を改善するための優れたフィルムを作成します。
本資料は、再現性と拡張性に優れたPLDを実現できるソリューションを可能にしたCoherentの248nm KrFエキシマレーザの採用事例を紹介。同大学の Monica Morales-Masis准教授は、 「Coherentのエキシマレーザの優れたパルス間安定性は、広範囲に均一なパルスレーザ成膜(PLD)を施すために欠かせない」と述べている。
発行元:コヒレント・ジャパン株式会社















