本資料は、再現性と拡張性に優れたPLDを実現できるソリューションを可能にしたCoherentの248nm KrFエキシマレーザの採用事例を紹介。同大学の Monica Morales-Masis准教授は、 「Coherentのエキシマレーザの優れたパルス間安定性は、広範囲に均一なパルスレーザ成膜(PLD)を施すために欠かせない」と述べている。