【heliInspect】は、対象物の3次元形状をサブミクロンの高精度で計測するheliotis社製光干渉断層計測3次元センサ。ステージ一体型であり、インラインで3次元検査を行いたいという要望から開発された。高度な演算処理を行うことができる独自のCMOSセンサにより、非接触で高精度かつ高速な3次元計測が可能。