本製品は、反射高速電子回折法(RHEED)とオージェ電子分光法(AES)を同時に行うRHEED-AES法を用いて、サンプル表面の構造と組成が同時に観察できる小型半球型エネルギー分析装置。エネルギー分解能約0.83％と高分解能で、電子レンズを備えているため、十分な作業空間を確保できる。稼働部がなく、長寿命でメンテナンスが容易。ビューポート付きなので分析を行うサンプル面を観察可能。