【カタログプレビュー】圧電式MEMSスキャニングミラー
本製品は、圧電方式を採用し、小型化と高出力を実現したMEMSミラー。125℃までの高温環境での駆動が可能。特許を取得した蛇腹(アクチュエータ)構造により強い耐震動性を保持し、車載品質をクリア。スターターキットは3タイプあり、商品企画や開発に適した評価ツールとして活用できる。「設計および成膜からデバイス生産」までのプロセスを一貫して行い、高い信頼性を提供。製品開発用スターターキットに対応。
発行元:スタンレー電気(株)