1枚の薄型プラットフォームで3軸動作可能な高精度エアベアリングステージ。

パラレルキネマティック方式の多軸システムとして設計されており、Zおよびチップ/チルト動作で使用できます。

小型で超高精度を実現したほか、非接触部品の組合わせにより、摩擦のないモーションプラットフォームによって優れた性能・品質・寿命を提供します。

コントローラ「A-81x/A-82xシリーズ」と組合わせると、サーボチューニングの最適化と負荷をかけた状態でZステージの構成と配線が行え、すぐに使用が可能です。

【特徴】
・トラベルレンジ: Z軸±2.5 mm、θX, θY軸 ±1°
・耐荷重:8 kg
・プラットフォーム:直径 250 mm
・高さ:60 mm

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