【カタログプレビュー】超高純度フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ DRPシリーズ 技術情報(概要)
DRP シリーズ・バルブに対し、第三者機関とスウェージロックが行ったテストの要約。DRPバルブは主に、製品の純度と信頼性が非常に重要である半導体業界において、重要な液体管理を行うために使用することを主たる目的として設計されている。この情報に記載されている報告データとテスト・プロトコルは、SEMI F57-0301に基づく。
発行元:日本スウェージロックFST