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【カタログプレビュー】超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ DRPシリーズ

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【DRPシリーズ】は、独自の半球形のバルブ流路デザインとダイヤフラム形状により、バルブ内部における流体の溜り部分を削減させ、接液・接ガス表面を素早く洗浄できる超高純度フルオロポリマーダイヤフラムバルブ。特にスラリーを使用するCMPプロセスにおいては、スラリーの突発的な変化を低減させるために、流体のせん断発生を最小限に抑制。独自形状のダイヤフラムは作動時の応力を最小化し、耐久性、シールの完全性、長いサイクル・ライフを促進する。また、ダイヤフラムの厚さを最大限に確保して、酸の透過を最小に低減。高い耐化学薬品性と純度を実現するため、接液・接ガス部に次世代フッ素樹脂、デュポンテフロンを採用。「超純水および液体化学薬品配分システム内に使用するポリマー製部品の暫定仕様」SEMI(R)F57-0301の要件に適合。
発行元：日本スウェージロックFST
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