【CSX-400シリーズ】は、SiC、LTCC、ガラス、樹脂などの難切材・複合材をはじめとする広範囲な材料を高品質に切断し、ブレードライフの向上により高い生産性とコストパフォーマンスを実現した超音波カッティング装置。高性能超音波スピンドルと独自の高剛性DSSR(Dual Support System Rotation)構造により高精度の切断が可能なほか、異ピッチカットや千鳥カットなど多彩なカット方法が選択できる。オートタイプの「CSX-401」、セミオートタイプの「CSX-400」が用意されており、CSX-401には枚葉式ウエット処理装置で培った技術を活かした洗浄ユニットが標準で搭載されている。