【FTS‐200】は、フェーシングターゲットスパッタ(FTS)としてOLED(有機ELディスプレイ)の透明導電膜の蒸着に使用できる。このチャンバーの中に2つのチルトができるガンが装着してある。多層蒸着と同時蒸着もできる。基板加熱はSiCヒーターを使用して均一に調節されており、基板以外の部品は加熱しない様に設計されている。基板の回転は0〜60rpm内で調節できる。装置はPCで制御できる。