【Sputter Lab‐200D】は、研究用の多層薄膜のスパッタリングのためのRF、DCマルチスパッタとして使用できる。サンプルのローディングはロードロッカーチャンバーを通じてできる。高速ポンピングのためにクライオポンプが採択されている。基板の位置は自動的に調節される。装置の制御はPCでできる。