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【カタログプレビュー】ECRイオンソース MTE1000

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【MTE1000】は、電子磁気共鳴プラズマを用いたECRイオンソース。ECRプラズマを永久磁石で構成されるカスプ磁場方拡張室に導き、グリッドから均一なイオンビームを引き出す。ECRイオンソースと制御機器部により構成。また、ユーザーの要望に合わせたECRイオンビームエッチング装置の設計に対応する。
発行元：アールエムテック(株)
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企業基本情報

社名：
アールエムテック(株)
住所：
〒 103-0007
東京都 中央区日本橋浜町2-30-1　IKビルディング7F
Web：
http://www.rmtec.co.jp/

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