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PR[WEBサーバー内蔵ロガー] 多彩な測定要素, 既設センサ入力可, 無償クラウド連携, LAN/WLAN接続圧力、温度、流速の計測ソリューションと国際MRA対応JCSS認定事業者の校正ソリューション
カタログを選択 非接触硬度計(柔らかさ測定器) ファイル形式:pdfファイルサイズ:0.54 MB 圧縮した空気を吐出し、その時の表面の凹み具合を非接触レーザー変位センサで位置の変化として測定するため、非接触で正確な測定が可能。
カタログを選択 ガスクラスターイオンビーム装置 ファイル形式:pdfファイルサイズ:0.38 MB 本装置は、数十~数万個の気体原子や分子の集団をイオン化して適度なエネルギーに加速したビーム(GCIB)を非加工物に照射する事で表面の超平滑化や改質を低ダメージで行う事が出来る。原子分子レベルの加工のため、すでに形状加工された微細構造物の平滑化やエッチング加工、表面加工が可能。
カタログを選択 オート・プレッシャー・コントローラー Multiple APC ファイル形式:pdfファイルサイズ:0.37 MB 【Multiple APC】は、高い安定性と幅広い互換性を兼ね備え、速い圧力応答性・再現性を実現した自動真空圧力制御装置。真空成膜装置を補助し、成膜の工程において重要な、一定の真空圧力を制御に貢献する。さまざまなメーカー品との互換性があり、バルブには安定したMFCを搭載している。
カタログを選択 DP用省エネ・ユニット DP-eco ファイル形式:pdfファイルサイズ:0.45 MB 【DP-eco】は、半導体製造・加工装置などの真空チャンバーに主に用いられる油拡散ポンプ「DP」の大幅な電気代の削減を可能とした省電力ユニット。HDシリーズ(350/450/550/700)に対応。取り付けも簡単で、ユーザー自身でも行える。
カタログを選択 イオンビームエッチング装置 ファイル形式:pdfファイルサイズ:0.49 MB 本装置は、イオンソースを使用して加工対象物にイオンビーム照射し、ドライエッチングを行うイオンビームエッチング装置。Au、Pt、磁性材などを容易にエッチングすることが可能で、テーパー加工が容易に行える。また、基板表面温度80℃以下での処理が可能。有毒ガスを使用しないため排ガス処理が不要、エンドポイントディテクターを搭載可能。ユーザ…
カタログを選択 イオンビームスパッタリング装置 ファイル形式:pdfファイルサイズ:0.85 MB 本装置はイオンソースを使用し、成膜材料をイオンビームでスパッタして成膜するイオンビームスパッタリング(IBS)装置。基板はシングルステージまたはプラネタリーステージに搭載。研究開発や生産用として、ユーザーの用途に合わせた装置の構成・提案を行う。オプションでプラネタリーステージ、膜厚計、光学モニター、水晶膜厚計、全自動多層薄膜成…
カタログを選択 ECRイオンソース MTE1000 ファイル形式:pdfファイルサイズ:0.4 MB 【MTE1000】は、電子磁気共鳴プラズマを用いたECRイオンソース。ECRプラズマを永久磁石で構成されるカスプ磁場方拡張室に導き、グリッドから均一なイオンビームを引き出す。ECRイオンソースと制御機器部により構成。また、ユーザーの要望に合わせたECRイオンビームエッチング装置の設計に対応する。
カタログを選択 洗浄装置 SIRIUS-O ファイル形式:pdfファイルサイズ:0.42 MB 【SIRIUS-O】は、基材を痛めずに洗浄やコーディング膜の削除が可能な噴流加工技術を搭載した洗浄装置。噴流加工とは、弾性体であるメディアを噴射し、すべリながら被加工物にアタックすることで面ダレ・梨地などが発生しない加工技術であり、被加工物へのダメージもなく、コーティング膜のみを落とすことができるので、精密部品の洗浄などに適してい…
カタログを選択 真空装置用冷凍機 Coolteq 100K/220K ファイル形式:pdfファイルサイズ:0.97 MB 【Coolteq 100K/220K】は、Supcold社の真空装置用冷凍機。同様の装置に比べ消費電力を削減、またスタンバイ時間を短縮。フロン回収破壊法第一種特定製品。冷却温度:-100~-140℃、最大負荷:2,000W~3,500W、排気速度:100,000~220,000L/sec。
カタログを選択 グリッドイオンソース製品 ファイル形式:pdfファイルサイズ:0.56 MB アールエムテックではカウフマン&ロビンソン社製の各種グリッドイオンソース製品を取り扱っている。現在、数量限定で、デモ機の貸出を行っている。
カタログを選択 エンドホールイオンソース製品 ファイル形式:pdfファイルサイズ:0.48 MB アールエムテックではカウフマン&ロビンソン社製の各種エンドホールイオンソース製品を取り扱っている。現在、数量限定で、デモ機の貸出を行っている。
カタログを選択 蒸着材料 ファイル形式:pdfファイルサイズ:0.54 MB アールエムテックでは、ユーザーのニーズに対応する蒸着材料を提供。レンズ類の反射防止膜、レーザーフィルター、ミラー、液晶ディスプレイパネル、建築用ガラスなど、さまざまな分野で利用されている「薄膜」は、一般的に「蒸着」によって形成される。金属酸化物やフッ化物などの材料が蒸着材料として用いられており、多種多様な目的に応じた種類・…
カタログを選択 各種消耗品 ファイル形式:pdfファイルサイズ:0.29 MB アールエムテックでは、各種消耗品を取り扱っている。主な取り扱い製品はシールド用大判アルミ箔ロール、拡散ポンプ用オイル、拡散ポンプ用オイル、メカニカル・ブースターポンプ用オイル、Cu(無酸素銅)ハースライナー、EBフィラメント、パッキン、水晶振動子、各種測定子、ハロゲン・ランプ、フィリップス球、モニター・ガラスなど。
おすすめ情報<真空装置用冷凍機 Coolteq 100K/220K> メンテナンス、設置作業などにも対応 【Coolteq 100K/220K】は、Supcold社の真空装置用冷凍機。同様の装置に比べ消費電力を削減、またスタンバイ時間を短縮。フロン回収破壊法第一種特定製品。冷却温度:-100~-140℃、最大負荷:2,000W~3,500W、排気速度:100,000~220,000L/sec。<ガスクラスターイオンビーム装置> コンパクト構造で、シンプルで低価格な設計になっている 本装置は、数十~数万個の気体原子や分子の集団をイオン化して適度なエネルギーに加速したビーム(GCIB)を非加工物に照射する事で表面の超平滑化や改質を低ダメージで行う事が出来る。原子分子レベルの加工のため、すでに形状加工された微細構造物の平滑化やエッチング加工、表面加工が可能。