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【カタログプレビュー】オート・プレッシャー・コントローラー Multiple APC

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【Multiple APC】は、高い安定性と幅広い互換性を兼ね備え、速い圧力応答性・再現性を実現した自動真空圧力制御装置。真空成膜装置を補助し、成膜の工程において重要な、一定の真空圧力を制御に貢献する。さまざまなメーカー品との互換性があり、バルブには安定したMFCを搭載している。
発行元：アールエムテック(株)
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企業基本情報

社名：
アールエムテック(株)
住所：
〒 103-0007
東京都 中央区日本橋浜町2-30-1　IKビルディング7F
Web：
http://www.rmtec.co.jp/

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