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【カタログプレビュー】イオンビームスパッタリング装置

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本装置はイオンソースを使用し、成膜材料をイオンビームでスパッタして成膜するイオンビームスパッタリング(IBS)装置。基板はシングルステージまたはプラネタリーステージに搭載。研究開発や生産用として、ユーザーの用途に合わせた装置の構成・提案を行う。オプションでプラネタリーステージ、膜厚計、光学モニター、水晶膜厚計、全自動多層薄膜成膜ソフトウェア、膜設計支援可能を用意。
発行元：アールエムテック(株)
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企業基本情報

社名：
アールエムテック(株)
住所：
〒 103-0007
東京都 中央区日本橋浜町2-30-1　IKビルディング7F
Web：
http://www.rmtec.co.jp/

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