株式会社ヒロテック（東京都中央区：代表取締役 守屋宏）は石英バスの世界のリーディングメーカー、IMTEC ACCULINE社（米国カリフォルニア州：代表取締役 Paul Mendes）の新ヒーターを7月から日本で正式に販売開始しましたのでご紹介します。

【特徴】
　 ・希フッ酸・アルカリ液（KOH、TMAH)対応
　 ・SiCチューブを使用
　 ・ヒーターを直接貼ることにより、最適な効率で高精度な温度制御
　 ・接液部は、SiC及びPFAのため従来のヒーターと比べコンタミ発生を防ぐ
　 ・ランプ交換・CDAは不要でメンテナンスフリー
　 ・縦置き、横置き設置が可能のコンパクトサイズで省スペースを実現
　 ・循環・シングルバスプロセスともに対応可
　 ・4.5kw〜18kwまで多彩なラインナップ

【主な市場】
半導体製造メーカー及びMEMS装置メーカー向けでウエットプロセスにて使用されます。特にDHF（希フッ酸処理）,KOHプロセスには欠かせません。
その他石英インラインヒーターが使用できない（石英表面がエッチングされて使用不可）薬液（PH８以上のアルカリ液）にベストマッチです。

【問い合わせ先】
株式会社ヒロテック
〒103-0023　東京都中央区日本橋本町1-1-3立石本町ビル6階
?03-5200-2201　Fax03-5200-2212 担当　田中まで