山洋電気株式会社（社長 山本茂生，資本金99億円）は，5相ステッピングシステム「SANMOTION F5」のラインアップを拡充し，リニア駆動ステッピングモータを開発しました。
多くの半導体製造装置や，一般産業機器などでは，ステッピングモータの回転をボールねじで直線運動に変換しています。本製品は5相ステッピングモータにボールねじを一体化してコンパクトに収めました。装置を小型化できます。
半導体製造装置，一般産業機械，工作機械，搬送機器などに最適です。

【特長】
１．装置を小型化
モータとボールねじが一体化されているため装置を小型にできます。
　　
２．業界トップの大推力※1
業界トップの最大推力　450Ｎを実現しました。

３．業界トップのストローク長※1
業界トップのストローク長 80mm※2を実現しました。


※1　2010年6月9日現在。ボールねじを内蔵した同サイズのステッピングモータとして。当社調べ。
※2　型番：SL5601-82XB41，SL5601-8241 の場合。

【用途】　
半導体製造装置，一般産業機械，工作機械，搬送機器など