「非接触キャリヤー用ロボットハンド」は、気体を噴出することによりベルヌーイ効果により負圧を発生し、ウエハを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。
　このハンドは薄く製作されていますので、キャリアーへのウエハの　
ローダ・アンローダに最適です。
　このハンドには排気回収装置(特許）が装着されていますので、クリーンルーム内にて使用可能です。
　また位置決め機構が付いておりますのでアライメントされたウエハを搬送可能です。
１．非接触にて搬送
２．ウエハキャリアへの出し入れ可能
３．クリーン仕。様排気回収機構付き（特許）
４．接着材のトラブルがない。一体形成にて製作。
５．完璧な洗浄が可能。
６．撓みが生じない。
７．洗浄時、接着材の溶出がない。
８．洗浄が容易。