第１０世代液晶ガラス基板の非接触搬送を可能にした低空気消費・高荷重型非接触搬送装置。
　ＬＣＤガラス基板も大型化が進み、第１０世代液晶ガラス基板は2.85mx3.05mの大きさになってきている。将来さらに大型化が進み、またガラス厚さの薄型化も進む。
　非接触搬送装置で最大の問題点は空気消費量である。このようにガラス基板が大型化し、重量も大きくなると、従来ある非接触搬送装置のベルヌーイチャックの機構のものは効率が悪く、そのため空気消費量が大きく、ランニングコストがかかるため実用的でなく採用が難しかった。
この度ソーラーリサーチ研究所にて開発した非接触搬送装置「フロートチャックＣ型」は、従来製作している機構にさらに、慣性力の効果を付加したものである。従来技術に比し格段に懸垂能力が増加し、保持安定性に優れ、衝撃に強く、気体消費量がほぼ半減している。効率がよく、空気消費量も少なくなり、大型ガラス基板の非接触搬送装置として採算ベースに乗り十分採用可能なものとなった。そのため空気消費量の問題で採用をひかえていた負荷の大きい大型ガラス基板の非接触搬送に採用されてきている。