カメラ、センサー、ワークを非接触にて保持し測定、検査、加工、ハンドリングする装置
2010/09/27
(有)ソーラーリサーチ研究所
当社にて製作する非接触搬送装置および非接触搬送システムは全て当社にて発明、開発した非接触搬送装置「フロートチャック」(特許)を用いております。 非接触搬送装置「フロートチャックC型」は新開発の「フロートチャックC型」シリーズは、従来技術に比し負圧発生効率は約2倍に達し、空気消費量が約50%少なく、かつクリーンルームにて使用可能な経済的な非接触搬送装置であります。排気回流機構により超クリーンルーム内での使用も可能です。
半導体ウエハ、LCD・PDP、ガラス基板、プリント基板、セラミック基板、スルーホールフレキシブル基板、フィルム、紙、不織布、極薄ワーク、通気性ワーク,アルミ板、銅阪等の金属板等の非接触搬送装置を製作しております。
半導体ウエハ、LCD・PDP、ガラス基板、プリント基板、セラミック基板、スルーホールフレキシブル基板、フィルム、紙、不織布、極薄ワーク、通気性ワーク,アルミ板、銅阪等の金属板等の非接触搬送装置を製作しております。
