レーザースキャナー用表面欠陥装置用「高浮上非接触コンベア」(Pat.P)は、検査シートを高く浮上させて、一定浮上高さを維持し、レーザ光による表面欠陥検査装置の検査域を搬送します。
　検査域では、シートは検査テーブル上では高く、かつ常に高精度にて高さレベルを維持し浮上しております。そのため検査域の前後にあるコンベアの上下変動に左右されることはありません。

◎適応

・レーザ表面欠陥検査装置
・カメラ表面欠陥検査装置
・抵抗率測定装置
・センサーによる表面欠陥検査装置