ウエハを非接触にてプロストキャリアから取出し・収納可能
2007/08/30
(有)ソーラーリサーチ研究所
有限会社ソ−ラ−リサ−チ研究所(本社:大阪府豊中市、代表取締役社長:明石博)は、極薄ウエハ/反りのあるウエハを非接触にてプロストキャリアから取出し・収納する【プロトスキャリア用非接触ピンセット】を発売しました。本製品は、ワークとの距離に応じて空気を噴出させることで、その内部をエゼクタ効果およびベルヌーイ効果により負圧にし、圧力室型エアクッション効果および空気流のクッション効果により正圧にします。これにより、基板を非接触状態にて懸垂保持することが可能になりました。ハンドル先端の非接触搬送装置「フロートチャック」で、手動操作により空気供給のON/OFFができます。非接触にて取出し/収納が可能なため、傷・汚れ・損傷がないことが特徴です。
