「クリーンルーム用ベルヌーイチャック」は、気体を噴出することによりウエハを非接触にて搬送することが可能です。
　「クリーンルーム用ベルヌーイチャック」の特徴とするところは、ノズルより噴出した排気を捕捉し、外部へ排出する排気回収機構が設けられていますので排気のクリーンルームへの流出を防ぎ、ごみ、ちりの巻き上げを防止します。