「サファイアウエハ非接触エンドエフェクタ」は、気体を噴出することによりベルヌーイ効果により負圧を発生し、ウェハを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。
「サファイアウェハ非接触エンドエフェクタ」は気体消費量が少なく、かつ懸垂重量が大で高効率のです。剛性があり、重量があるサファイアウェハ用に薄く製作されていますので、キャリアーへのウェハのローダ・アンローダに最適です。
また位置決め機構が付いておりますのでアライメントされたウェハを搬送可能です。