ソーラーリサーチ研究所にて発明開発したベルヌーイチャック「フロートチャック」を採用使用したベルヌーイチャックシステム・非接触搬送装置を豊富な納入実績を基にオーダーメイドにて製作します。

・ウエハ非接触搬送装置
・ガラス基板非接触搬送装置
・非接触ピンセット
・太陽電池ウエハ非接触搬送装置
・ウエハチップ非接触搬送装置
・レンズ非接触搬送装置
・フィルム非接触搬送装置
・プリント基板、FPC非接触搬送装置
・不織布非接触搬送装置
・エア浮上高精度検査テーブル
・シート枚葉送出装置