LCD工場ガラス基板非接触搬送システム
2008/02/25
(有)ソーラーリサーチ研究所
この度ソーラーリサーチ研究所にて開発したLCD工場に於けるガラス基板非接触搬送システムは、従来製作している機種にさらに、慣性力の効果を付加した非接触搬送装置「フロートチャックSA−C型」を採用したものである。従来技術に比し格段に懸垂能力が増加し、保持安定性に優れ、衝撃に強く、気体消費量がほぼ半減している。効率がよく、空気消費量も少なくなり、大型ガラス基板の非接触搬送装置として採算ベースに乗り十分採用可能なものとなった。そのため空気消費量の問題で採用をひかえていた負荷の大きい大型ガラス基板の非接触搬送に採用されてきている。第8世代の基板では国内外の大型ガラス基板の製造工程にてすでに10数ラインの納入実績がある。また第10世代ガラス基板用に採用予定されている。
















