「0.4mm角ＩＣミュウチップ非接触搬送装置」は、気体を噴出することにより0.4mm角ＩＣミュウチップと本気底面に儲けたクッション室内部とチップに対向する作動面との間隙に負圧および正圧を発生させミュウチップを非接触状態にて吸引し懸垂保持し搬送する。
　チップ吸引時、作動面とチップとの間隙が微小であるため作動面とチップとを平行に維持することは操作上難しいため、本機は、微小なクッション室にて効率よく負圧が発生するように気体噴出ノズルが形成されている。
◎特徴
１．0.4mm角ＩＣチップを非接触にてチャック可能
２．ダイシングしたウエハチップを非接触にて搬送する。
３．トレーのチップを非接触にて取り出し可能。
４．非接触保持しているチップの反転、傾斜が可能。
◎適応
１．タグ埋め込みＩＣチップ
２．イベント人員管理タグＩＣチップ
３．微細ウエハチップ
４．微小レンズ
５．微小光学機器