ウエハピンセット
2008/07/25
(有)ソーラーリサーチ研究所
ウエハ、チップ、レンズ、太陽電池基板、ガラス基板をハンドルを持つ手の操作により空気供給のON−OFFを行い。ピンセットのようにウエハを非接触にて吸着し、脱着を行います。
「非接触ピンセット」は、空気を噴出させることによりワークとの距離に応じてその内部をエゼクタ効果およびベルヌーイ効果により負圧にし、また圧力室型エアクッション効果および空気流のクッション効果により正圧にすることにより、基板を無接触状態にて懸垂保持する機能を有しております。
「非接触ピンセット」は、空気を噴出させることによりワークとの距離に応じてその内部をエゼクタ効果およびベルヌーイ効果により負圧にし、また圧力室型エアクッション効果および空気流のクッション効果により正圧にすることにより、基板を無接触状態にて懸垂保持する機能を有しております。
