ソーラーリサーチ研究所は、超極薄25μmガラス、5μm厚さフィルム、25μm厚さウエハ、フレキシブルプリント基板、不織布、スルーホール基板を非接触にて搬送する 「超薄フィルム非接触搬送装置」(特許)の提供を開始した。

「超薄ガラス非接触搬送装置」は、超薄ガラスを非接触にて把持し搬送する非接触吸着器はソーラーリサーチ研究所にて開発しました「フロートチャックLNAS-C型」(特許)にて構成されています。

「フロートチャックLNAS-C型」では吸着用高圧空気は中央部に開口したクッションルームに設けられたノズル筒のノズルより水平方向に噴出するため、高圧空気は直接ワークに衝突することはありません。 またワークに高圧噴出空気による局所応力を与えることはありません。 さらに「フロートチャックLNAS-C型」には、ノズル筒下端には下端面には負圧を生じさせない均圧管（特許）を設けております。そのためノズル筒下面で負圧は生じることなく、極薄柔軟ガラスでも反りが生じて接触することはありません。 「超薄フィルム非接触搬送装置」に装着する「フロートチャックLNAS-C型」は、ガラスの厚さ、柔軟性、大きさ、重量他ワーク箇々の性状に応じて製作します。 このため薄いワーク、脆いワークも破損することはありません。 また不織布、紙、布等の通気性ワーク、スルホール基板等も把持、搬送が可能です。

◇適応
・25μm厚さの超薄ガラス
・5μm厚さのフィルム
・20μm厚さウエハ
・脆いシート
・通気性シート
・スルーホール基板
・超薄光学フィルム
・不織布

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