柔軟なフィルム・偏光板・ウエハを非接触にて1枚づつ送り出し・搬送・積層する 装置
2008/10/14
(有)ソーラーリサーチ研究所
空気を噴出することにより柔軟なフィルム・偏向板・FPC・シートを空中に浮遊した非接触状態にて懸垂する非接触搬送装置「フロートチャック」(特許)にて構成される保持装置と、ワーク進行と同調して走行する「非接触支持走行装置」を採用しております。 偏光板、フィルム、シート、ウエハ、ガラス、紙等のシートを非接触搬送装置「フロートチャック」(特許)により積層したシートを1枚ずつ送り出し、先端部に垂れが生じないように搬送し、精度良く積層する装置である。搬送課程ではフィルム先端部に垂れ下がりを生じさせることなく搬送が可能である。本装置のフィルムと対処する箇所では非接触搬送装置「フロートチャック」を用いているため、キズ、汚れ、ストレス、静電気の付着がない。
















