ソーラーリサーチ研究所は、化合物半導体(InP、GaAs、GaP)ウエハ用「ベルヌーイチャック(1.0・1／2・1／4サイズウエハ用)」の提供を開始した。

「ベルヌーイチャック(1.0・1／2・1／4サイズウエハ用)」は、CVD装置サセプタに搭載されている高温InPウエハを非接触にて取り出すことが可能です。

気体を噴出することによりエゼクタ効果・ベルヌーイ効果・コアンダー効果による負圧の発生によるInPウエハの吸引把持と圧力室式エアクション効果による正圧の発生によるウエハの離反のバランスにより、InPウエハを非接触にて把持し搬送します。

【対象品】
化合物半導体(InP、GaAs、GaP)ウエハ
化合物半導体(InP、GaAs、GaP)ウエハチップ

【特長】
1.化合物半導体(InP、GaAs、GaP)ウエハ 1.0・1／2・1／4サイズウエハ
2.高温ウエハ(耐熱仕様)取り扱い可能
3.サセプタに化合物半導体(InP、GaAs、GaP)ウエハを非接触にて収納・取り出しを行う。


[お問い合わせ先]
(有)ソーラーリサーチ研究所
〒560-0022大阪府豊中市北桜塚2-7-12
電話：06-6852-3876