製品の高精細化に適合した、ＵＶエネルギーによる精密でクリーンな乾式洗浄法です。低圧水銀ランプより発する短波長の光エネルギー184.9nm、253.7nmはポテンシャルが高く、高精細基板製造過程で生じた有機汚染物質の結合を分解する強いエネルギーを持っています。
同時に立体物の表面上で紫外線ランプとエアーから生じたオゾンにより酸化反応がおこり、有機汚染物質は揮発性の二酸化炭素や水分となり飛散することで、立体物の表面がクリーンになります。

＜特長＞
◆立体物への洗浄
特殊形状の低圧水銀ランプを採用することで立体物に対しても高出力・高均斉を可能としました。

◆簡単操作
洗浄からオゾン排気までボタンを押すだけで誰でも簡単に操作できます。

◆安全操作
オゾン漏れや紫外線漏れの心配がなく、扉開時にはランプが消灯する安全設計。オゾン分解装置を内蔵しました。

●詳細案内
http://www.uv-asumi.com/products/uv-senjyou-product/asm401imp