インテグリスが新先端技術製造センターを開設、半導体業界における 450mmへの移行とEUV プロセスの導入を後押し
2011/05/20
日本インテグリス合同会社
2011年5月19日マサチューセッツ州ビレリカ発 :米国インテグリス社は本日、450mm半導体ウェーハのハンドリング製品と極端紫外線(EUV)レチクルポッドを生産するための先端技術製造施設を、コロラド州コロラドスプリングスに開設する計画を発表した。この新施設では、半導体産業における 300mmウェーハから 450mm ウェーハへの移行に合わせて、ウェーハハンドリング製品を開発、製造する。計画中の施設は、40,000 平方フィートの敷地を有し、年内の操業開始を目指している。これにより、コロラドスプリングスにおけるインテグリスの製造設備がさらに拡張されることになる。
「大手半導体メーカーの多くが、北米の次世代ファブにおいて 450mm への移行計画を打ち出しており、インテグリスでも、それらの大口径ウェーハを出荷、搬送するためのソリューションを開発するべく、大手半導体メーカーや業界の関係団体と協力して取り組んでいます。」と、インテグリスの副社長兼マイクロエンバイロメント部門統括マネージャーであるビル・シェーナー(Bill Shaner)は述べている。「私たちのお客様が 450mm 事業の整備を加速するなかで、インテグリスの新施設は、お客様のニーズを満たす優れたソリューションを提供していくという強い決意を象徴しています。コロラドスプリングスを選んだのは、すでにウェーハハンドリング技術と製造に関する専門技術が備わっており、主要顧客に近い場所であること、そして Colorado Springs Regional Economic Development Corporation(コロラドスプリングス地域経済開発公社)から提供された素晴らしいサポートを考慮した結果です」。
「大手半導体メーカーの多くが、北米の次世代ファブにおいて 450mm への移行計画を打ち出しており、インテグリスでも、それらの大口径ウェーハを出荷、搬送するためのソリューションを開発するべく、大手半導体メーカーや業界の関係団体と協力して取り組んでいます。」と、インテグリスの副社長兼マイクロエンバイロメント部門統括マネージャーであるビル・シェーナー(Bill Shaner)は述べている。「私たちのお客様が 450mm 事業の整備を加速するなかで、インテグリスの新施設は、お客様のニーズを満たす優れたソリューションを提供していくという強い決意を象徴しています。コロラドスプリングスを選んだのは、すでにウェーハハンドリング技術と製造に関する専門技術が備わっており、主要顧客に近い場所であること、そして Colorado Springs Regional Economic Development Corporation(コロラドスプリングス地域経済開発公社)から提供された素晴らしいサポートを考慮した結果です」。