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2011/05/20 インテグリスが新先端技術製造センターを開設、半導体業界における 450mmへの移行とEUV プロセスの導入を後押し 2011年5月19日マサチューセッツ州ビレリカ発 :米国インテグリス社は本日、450mm半導体ウェーハのハンドリング製品と極端紫外線(EUV)レチクルポッドを生産するための先端技術製造施設を、コロラド州コロラドスプリングスに開設する計画を発表した。この新施設では、半導体産業における 300mmウェーハから 450mm ウェーハへの移行に合わせて、ウェ…