背面照射型sCMOSを使用した直接検出方式X線検出器「Marana-X」
2020/11/19
オックスフォード・インストゥルメンツ(株) アンドール・テクノロジー事業部
軟X線、EUV(極端紫外)域の光検出には、真空チャンバーへ直接取り付けるタイプの直接検出方式の検出器が使われます。アンドール・テクノロジー社の新製品Marana-Xは、センサーとして、背面照射型のsCMOSを採用することで、高速、低ノイズ、高効率でのX線イメージングを実現しました。
●主な仕様
・2048×2048 (6.5μm)ピクセル
・読み出しノイズ 1.2e-(12bit)/1.6e-(16bit)
・ダークカレント 0.1e-/pixel/s(@-45℃)
・量子効率 最大99%
・74fps(16bit/full frame)
製品の詳細はこちら
●主な仕様
・2048×2048 (6.5μm)ピクセル
・読み出しノイズ 1.2e-(12bit)/1.6e-(16bit)
・ダークカレント 0.1e-/pixel/s(@-45℃)
・量子効率 最大99%
・74fps(16bit/full frame)
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