ウエハへのテープ貼り付けを行うテープマウンターに「真空貼り付け装置」を新たにラインナップしました。

これまでのローラーによる貼り付けでは難しいとされる凹凸面への貼り付けやローラーによる点応力を嫌うMEMSや極薄ウエハに対してソフトな貼り付けを可能にしました。

http://www.okksg.co.jp/product/semicon/mounter/vacuum_merit.html
詳細は弊社ホームページでご確認ください。