日東工器株式会社（社長：小形 明誠）は、バイモルフ振動子を採用した圧電ポンプ「バイモルポンプBPS-265P」を開発し、8月3日より発売します。

「バイモルポンプBPS-265P」は圧電振動素子の屈曲運動を駆動源とした圧電ポンプです。吐出流量は最大36mL/minで、小型・軽量な従来のBPSシリーズの特長をもちながら、強酸や各種有機溶剤に対して優れた耐性を実現しました。これにより、吐出可能な液体の種類がさらに広がりました。

主な用途として、半導体製造工程や医療機器・理化学機器における各種薬品の搬送などに対応します。

初年度の販売目標は、500台、標準価格（税別）は98,600円です。なお、別売品として、流量調整が可能な「ポンプ駆動電源」を用意しています。

［特長］
1. 優れた耐薬品性
耐熱、耐薬品性に優れたフッ素樹脂とパーフロゴムを採用。エタノール、王水、オゾン、四塩化炭素、濃硝酸、濃硫酸、発煙硫酸などの強酸や有機溶剤に使用できます。使用流体温度は5～50℃の範囲で使用可能です。
2. 小型・軽量
バイモルフ振動子を直接駆動源としているため、小型かつ軽量なポンプです。当社従来品※と比べ小型・軽量を実現、手のひらに収まる大きさで重さは80gと軽量です。※バイモルポンプBPF-465P
3. 低作動音・長寿命
モータや駆動軸を使用しない圧電素子駆動のため、低作動音かつ長寿命です。