ヒューグルエレクトロニクス株式会社(東京都千代田区)は、次世代の自動カセット・ボックス洗浄システム「CRD-4500」を発売しました。

同社は、国内外の半導体製造ラインで使用されている半導体容器（3〜12in）洗浄システムを25年以上にわたり、製造販売してきた豊富な実績と経験を持ち、ユーザーに信頼を得てきた「CRD-4200」の長所をさらに向上させたモデルを開発しました。「CRD-4500」は、「洗浄能力のUP」「省エネ」「省スペース」をコンセプトに新設計された製品です。

≪製品概要≫
本装置は、最大8インチウェハー用容器まで対応可能です。容器は専用バスケットにセットされ、各処理チャンバーで効率の良い洗浄／乾燥が行われます。バスケットの搬送方式は、パーティクル防止対策がなされたHugle独自の特殊ローラー方式を採用しております。

≪主な特長≫
■省エネ対策
電力・純水使用量の省エネ化に成功しました。（当社比20％以上低減）

■小フットプリント設計
従来装置の機構・配管設計の見直しを行い、小フットプリント化を実現しています。
（当社比20％縮小）

■ジェット洗浄方式による超精密洗浄
ヒューグル独自のジェット純水洗浄方式により、超精密な洗浄を実現します。

■スピード乾燥
装置内部ヒーターにより加温されたCDAを乾燥ノズルから吐出するホット
エアーナイフ乾燥方式を採用し、高効率／短時間での乾燥が可能です。
また、乾燥効率向上のために、対象容器に最適なノズルレイアウトを設計いたします。

■操作性／安全性の向上
装置操作は、高輝度タッチパネルで行います。
SEMI S2／S8、CE規格への準拠により、装置安全／操作性能を向上させています。

■メンテナンス性の向上
装置内部へのアクセスを容易にし、メンテナンス性を向上しております。


≪主な適用例≫
■ウェハーキャリア
■ウェハーボックス
■ディスクカセット
■マスク出荷ケース
■レティクルケース
■その他各種容器
■ワイヤートレイ寸法(参考寸法)
■6インチ用 外寸：D×W×H＝450×655×190（mm）　※ブレード込
■8インチ用 外寸：D×W×H＝450×655×450（mm）　※ブレード込

【お問い合わせ先】
ヒューグルエレクトロニクス株式会社
〒102-0072　東京都千代田区飯田橋4-5-7
TEL：03-3263-6661 / FAX：03-3263-6668