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2009/06/24 高精度・ロングストローク対応、簡易フィードバック付アクチュエータ 磁気スケール、磁気ヘッドを電動アクチュエータに取り付け、繰り返し位置決め精度±30μm(社内テストデータ)を実現 1)最大ストローク8500mm(1mm単位での注文が可能) 2)繰り返し位置決め精度±30μm(社内テストデータ):磁気スケール付 3)最大位置決め点数:250点 4)分解能5μmの磁気スケールを採用し、簡易フィードバックを実現 5)使用最高速…