空気圧制御式アクティブ除振システム MAPSシリーズ

【MAPSシリーズ】は、小型で全自由度の振動に対応し優れた除振性能・安定性を実現した空気圧制御式アクティブ除振システム。パッシブ除振では困難な帯域の振動もカット。標準MAPSで10トン以上の装置除振が可能。ステージなどの稼働する装置を搭載しても揺れは皆無。優れた位置決め・レベル精度を実現。小型で操作が容易。