粒子法プラズマ解析ソフトウェア Particle-PLUS
最終更新日:2022/03/25
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非平衡プラズマの数値解析に優れたシミュレーションソフトウェア
【Particle-PLUS】は、粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェア。プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に好適。CCPや外部回路モデルなどの高度な物理モデル解析が可能。低圧プラズマ解析および流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とする。2D(2次元)、3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析可能。標準機能でのCCP、マグネトロンスパッタ計算はもちろん、ユーザーの装置に合わせたカスタマイズも可能。マグネトロンスパッタ、PVD、プラズマCVD、容量結合プラズマ (CCP)、誘電体バリア放電 (DBD)、電気泳動などに対応。また、ポテンシャル分布、電子・イオンの密度分布／温度分布／発生分布、壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス、壁への電子・イオンのエネルギースペクトル、中性ガスの密度分布／温度分布／速度分布など、さまざまな計算結果を出力可能。受託解析にも対応。
製品カタログ・資料
- 粒子法プラズマ解析ソフトウェア 『Particle-PLUS』
ファイル形式：pdf ファイルサイズ：0.71MB『Particle-PLUS』は、 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです 『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとして 標準機能でのCCP,マグネトロンスパッタ計算はもちろん、 お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな事例に対応◆ ・マグネトロンスパッタ ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) ・電気泳動 など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※受託解析も行っておりますので、お気軽にお問い合わせ下さい。 sales@wavefront.co.jp
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