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製品カタログ・資料
- 集積ガスシステム IGS
ファイル形式:pdf ファイルサイズ:9.08MB 超高純度用、集積化ガスシステムです。 【特長】 1. Wsealの採用による信頼性の向上 (シールする部分と外力の受ける部分の分離) 2. 施工性、メンテナンス性の向上(構成パーツの完全上部着脱方式 リークポート、専用工具等)
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