ALICAT社製 OEM供給用小型ローコストマスフローコントローラー BASISシリーズ
最終更新日:2021/01/14
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対応ガスはAirを含めて8種類
【BASISシリーズ】は、ALICAT(アリキャット)社の標準制御バルブおよびPIDアルゴリズムと組み合わせたMEMSセンサを使用し質量流量測定を行うマスフローコントローラー。100msの制御応答性能を装備。PD制御により短時間で目標流量へ到達。流量変化にすばやく追従し、安定性のある流量制御を行う。ウォームアップ時間は70msで、立ち上がりすぐの稼動が可能。アナログ出力／入力、RS-485通信を標準搭載。0-5VDC入力による制御流量の設定ができ、また、現在流量を0-5VDCで出力し、ロガーなどによる記録が可能。PLCなどによる一括監視が行える。
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製品カタログ・資料
- ALICAT マスフローコントローラー『BASISシリーズ』(日本語)
ファイル形式：pdf ファイルサイズ：0.56MB『BASISシリーズ』は、OEM供給用に開発された小型でローコストのALICAT(アリキャット)社製のコントローラーです。 当社の標準制御バルブおよびPIDアルゴリズムと組み合わせたMEMSセンサーを使用しています。 ±(1.5% Reading +0.5% F.S.)の正確な流量計測ができ、100msの制御応答で 目標流量へすばやく到達。 【特長】 ■ウォームアップ時間70ms ■100msの制御応答 ■±(1.5% Reading +0.5% F.S.)の高い流量精度 ■アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載
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