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卓上型アクティブ除振台 δTA

特許機器株式会社

最終更新日:2022/07/28

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  • 卓上型アクティブ除振台 δTA
低域周波数から確実に除振、高重心装置や軽量装置にも優れたたアクティブ制御効果を発揮
【δTA】は、特許機器の長年にわたる振動制御技術の蓄積により開発された卓上型アクティブ除振台。6自由度アクティブで制御。最適な制御バランスを自動調整するオートレベリング機構を装備。コンパクトなボディにもかかわらず、精密機器の性能の妨げとなる低域から高域周波数の振動を制御、高水準の除振性能を実現。性能が発揮しづらい、高重心な装置や軽量装置でも優れた除振性能が確保できる。クリーンルーム対応。VFDパネルを標準装備。

製品カタログ・資料

卓上型アクティブ除振台 δTA
卓上型アクティブ除振台 δTA

ファイル形式:pdf ファイルサイズ:11.7MB小型・クリーンルーム対応卓上アクティブ除振台 低域周波数から高域周波数まで優れた除振性能を有しています。 性能が発揮しづらい、高重心装置や軽量装置でも優れた除振性能が確保できます。 用途 ■AFM (原子間力顕微鏡)、SPM (走査型プローブ顕微鏡) ■レーザー顕微鏡、レーザー干渉計 ■微小硬度計 ■その他 各種精密精密計測機器 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 関連リンク https://www.tokkyokiki.co.jp/product-nanotechnology/

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〒 660-0833
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