導電性耐熱テープ STチャックテープ
最終更新日:2024/01/19
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低電圧での静電チャックが可能
【STチャックテープ】は、導電処理を施したPI、PENを基材とし、シリコン・耐熱アクリル粘着剤を使用した導電性耐熱テープ。ガラスウエハーやガラスサポートウエハーに貼ることで、低電圧での静電チャックが可能で、MEMS／CMOS／IGBTなどさまざまなウエハーで使用できる。200℃以上の耐熱性や耐薬品性を有しており、ウエハー表面保護用途にも対応。
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