単結晶素材 サファイア
最終更新日:2014/01/30
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強く・硬く・削れ難い
【サファイア】は、NF3、CF4などのクリーニングガスに強い素材。単結晶で引き上げるためアウトガスの発生がない。純度Al2O3：99.999％、マイクロ波透過性に優れている。そのほか高温に耐えられ、UV透過性に優れる。耐久性はクォーツの10倍、硬さはクォーツの1.6倍。
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