導電性タフカーボン
最終更新日:2014/02/01
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高硬度と導電性を両立
【導電性タフカーボン】は、ビッカース硬度4000と既存の導電性DLCの約4倍の硬さを持つ超硬質な薄膜カーボン。同時に体積抵抗率10−3Ω・cm以下と金属並みの低抵抗率も有する。さらに250℃以上の耐熱性を備え、高温下であっても硬さと抵抗値が安定。離型性も良好であるため、各種のデバイスの電極に用いるはんだやアルミが保護膜の表面に付着しない。
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