超精密測長器 ES25-1
最終更新日:2019/02/06
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取付用治具により簡単に取付け可能
【ES25-1】は、液晶の電気光学効果を利用して、高精度の測長を実現した超精密リニアエンコーダ。±1.5nmの高分解能、±20nmの測長が可能で、正・逆動作切替時やチャタリングによる測長誤差が発生しない、周囲温度による影響が少ない、ノイズなどの外乱に強い、などの特長がある。半導体製造での超微細位置制御、ディスク・表示素子の超微細計測位置制御などに最適。
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