VICTREX PEEK樹脂 VICTREX UHP PEEK
最終更新日:2014/01/31
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金属含有量を大幅に低減
【VICTREX UHP PEEK】は、従来のVICTREX PEEK樹脂に含まれるナトリウムなどの金属含有量を大幅に低減した高純度グレード。高い耐ドライエッチ性、低アウトガス性、ウエハやガラス基板に対する低摩耗性などの諸特性を損なうことなく、金属元素の約8割の含有量を低減した。ドライプロセス向けの需要を開拓する。
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