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磁気軸受型ターボ分子ポンプ TG-MLシリーズ

(株)大阪真空機器製作所

最終更新日:2015/06/04

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  • 磁気軸受型ターボ分子ポンプ TG-MLシリーズ
大型機種の発生トルクを大幅に低減
【TG-MLシリーズ】は、次世代半導体製造装置、分析機器分野に最適な極低振動の磁気軸受型ターボ分子ポンプ。ポンプ本体の振動値をサブナノメートル台に抑えることに成功。専用ダンパーを装着することで振動をサブナノオーダからさらに1桁低減可能。吸気口径は4〜10インチまでラインアップ。大型機種の発生トルクを大幅に低減。
    　　　　　　　　

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企業基本情報

社名：
(株)大阪真空機器製作所
住所：
〒 541-0041
大阪市中央区北浜3-5-29
Web：
http://www.osakavacuum.co.jp/