顕微鏡用ナノサーボステージ XY(Z)軸一体型ステージ
最終更新日:2014/02/01
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入出力インタフェースを装備
【XY(Z)軸一体型ステージ】は、顕微鏡と組合わせて高速かつ高精度な測定・検査を可能とする精密位置決め機器。弾性ヒンジ機構と積層型圧電アクチュエータなどといった、ナノの超微動を支える機構で、使いやすい入出力インタフェースを装備。さらにRS232Cインタフェースによる駆動サンプルソフトウェアを用意。用途は走査型プローブ顕微鏡、半導体・液晶関連装置、露光装置など多用途。
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